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2021-08-16

光譜共焦位移傳感器結(jié)構(gòu)是如何設(shè)計的

在光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)中,系統(tǒng)的測量范圍受4個方面的因素影響:1)光源光譜分布范圍;2)色散鏡頭在工作波段范圍內(nèi)的軸向色差;3)光譜儀的工作波段;4)光纖耦合器的工作波段。選擇的白光LED 光源的光譜分布如下圖所示,波段 400~800 nm,所以在設(shè)計過程中,色散鏡頭、光譜儀和光纖耦合器的工作波段要盡量與光源的波段一致,最終系統(tǒng)的測量范圍為色散物鏡在其共同工作波段范圍內(nèi)的軸向色差。

在設(shè)計色散鏡頭時,除了要考慮其軸向色差外,還要考慮如下因素:1)增大物方數(shù)值孔徑可以提高分辨率;2)增大像方數(shù)值孔可以提高光源利用率;3)減小系統(tǒng)球差可以提高精度;4)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)要易于裝配和調(diào)整。

以上這些因素是相互制約的,增大數(shù)值孔徑的同時系統(tǒng)球差也隨之變大,如果要校正球差系統(tǒng),結(jié)構(gòu)就會變得復(fù)雜,所以色散鏡頭設(shè)計的目的是用最少的透鏡達到最理想的效果。光譜共焦位移傳感器的光學(xué)系統(tǒng)可以看成兩個部分,一部分是消色差場鏡,它的焦點在光源處,把點光源準直成平行光,另一部分為色散物鏡,它的作用是把不同波長的平行光聚焦在軸上的不同位置,形成光譜色散,而消色差透鏡和非球面透鏡正好可以起到這樣的作用。

通過 ZEMAX 軟件仿真分析,在 400~700 nm 波段色散鏡頭的色散范圍為 2.3 mm,具體波長與聚焦位置的對應(yīng)關(guān)系。

由于系統(tǒng)要分析反射回光纖的光譜光強分布情況,所以對共焦過程進行了模擬,在仿真過程中,將平面鏡置于焦面處,使通過光學(xué)系統(tǒng)的光經(jīng)過平面鏡反射后又回到光學(xué)系統(tǒng),并成像在光源位置。通過觀察像面處的點列圖發(fā)現(xiàn),當平面鏡設(shè)置在不同波長的焦面處時,聚焦波長在像面處的彌散斑較小,而其他波長的彌散斑較大。

為平面鏡設(shè)置在 550 nm 波長焦面處時像面上的點列圖,其中 550 nm 波長的彌散斑直徑為41.4 μm,小于光纖纖芯直徑,而 400 nm 波長的彌散斑直徑為 2 311.46 μm,遠大于光纖纖芯直徑。為了更準確地分析光纖纖芯直徑對共焦系統(tǒng)的濾光情況,將光纖端面離散為間距 1 nm 的均勻分布點光源,并假設(shè)彌散斑與光纖纖芯重疊的部分為可以進入光纖的光。

為在此條件下計算的平面鏡設(shè)置在 450,500,550,600,650 nm 焦面處時,反射回光纖的光譜光強分布。從圖中可以看出光纖纖芯直徑起到了較好的濾光作用,而且隨著波長的變大半高寬變大。分析了不同光纖纖芯直徑情況下反射回光纖的光譜光強分布情況,為對反射鏡設(shè)置在 550 nm 焦面處分析的結(jié)果,可以看出當光纖纖芯直徑較小時,光譜信號能量較弱,隨著光纖纖芯直徑的增大,光譜信號能量變強但半高寬也變大,分辨率下降。設(shè)計中必須選取合適的光纖,同時滿足系統(tǒng)的分辨率和信噪比要求。

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